荏原の精密・電子カンパニーは業界最先端の技術製造現場を支える、真空技術と平坦化技術のリーディングカンパニーです。
半導体製造に欠かせないCMP装置を始め、ドライ真空ポンプ、排ガス処理装置、オゾン水製造装置など様々な製品を世界中に供給しています。高性能、高信頼性、安心のサポート体制により、多様な分野で採用が進んでいます。半導体分野のみならず、化学、医薬、その他の製造業や研究開発用途で荏原製作所の製品が活躍しています。
クリーンな真空環境の構築に欠かせない、非接触構造のドライ真空ポンプです。半導体製造工程を中心に、様々な分野で活躍しています。
精密かつ高集積半導体製造に欠かせない、高スループットCMP装置・高研磨性能のベベル研磨装置・フレキシブル構成可能なめっき装置を製造しています。世界中の主要な半導体メーカーへ半導体製造装置を供給しています。
地球温暖化ガス（PFCs）、有毒ガス、VOCなど製造工程で発生する有害ガスを無害化し、大気に放出するための除害装置です。荏原の排ガス処理装置は、除害処理の難しいPFCsガスも高効率処理が可能です。
オゾン水は、オゾン（O₃）を水に溶解させ強力な酸化力を有します。荏原のオゾン水製造装置は、高濃度かつ濃度安定性の高いオゾン水で、処理効率や清浄度の向上に貢献しています。
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